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半导体洁净车间的建造标准

Thu Mar 09 16:00:42 CST 2023
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  每个行业的洁净车间建造都有各自的标准要求,今天合洁科技电子净化工程就带大家一起来了解下半导体洁净车间的建造标准吧!

  半导体洁净车间是指通过高效过滤、低温、恒温控制、高压等环境控制技术,将半导体制造设备和产品放置在一个极低污染的空气环境中的车间。它的主要作用是防止空气中的微小颗粒、气体、湿度等污染物和微生物污染,以确保半导体材料、工艺和产品的质量。

  半导体洁净车间的空气清洁度标准一般是采用ISO14644-1标准,清洁度级别从Class1到Class9,Class1表示最清洁的环境,Class9表示最污染的环境。 根据不同的要求,可以采用不同的清洁度级别。


半导体洁净车间的图片


  除了空气清洁度标准外,半导体洁净车间还有一些特殊的安全要求。 例如,空气的湿度必须保持在一定的范围,控制在30-60%RH之间; 温度必须保持在一定的范围,控制在18-25度之间; 每小时流量要求必须大于20m/h。 此外,半导体洁净车间还要求噪声小,灯光满足要求,防静电措施到位,防尘措施要达到最低要求等。

  总而言之,半导体洁净车间的标准主要是空气清洁度标准、湿度、温度、流量等,以及噪声、灯光、防静电、防尘措施等。

  因篇幅问题,仅供参考,希望对您有所帮助,具体详细方案可访问我们合洁科技电子净化工程的网站进一步了解,我们会为您持续讲解洁净工程施工流程,介绍洁净工程各项要求以及解读各类电子洁净车间标准。

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